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SuperViewW高精度光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。覆蓋半導(dǎo)體、3C電子、光學(xué)加工、汽車零部件、MEMS器件等領(lǐng)域，兼容多種材質(zhì)（透明、高反光、黑色等）。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌特征輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW中圖儀器光學(xué)三維輪廓儀系統(tǒng)具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW臺式光學(xué)輪廓測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

SuperViewW國產(chǎn)3D光學(xué)表面輪廓儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀SuperViewW系列以白光干涉技術(shù)為原理，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。