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SuperViewW1輪廓度光學測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級精度測量從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器3D輪廓光學測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學輪廓儀的檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領域提供高精度檢測功能。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，且測量速度快，不必像探頭逐點進行測量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器3d三維光學輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

?中圖儀器非接觸式3d光學輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。非接觸高精密測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，而且測量速度快，不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。