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w1光學3D表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強大時的位置，完成3D重建。

中圖儀器光學輪廓儀W系列采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

中圖儀器SuperViewW1光學檢測設備輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW系列高精密光學輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數據處理系統(tǒng)構成。以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

SuperViewW1半導體光學輪廓測量儀器用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。是以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

中圖儀器3d光學影像輪廓測量儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。它以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。